Компания Budatec - немецкий производитель систем вакуумной пайки разработал системы плазменной очистки для изделий микроэлектроники. У завода-изготовителя уже был опыт выпуска подобных , которые устанавливались в рабочую камеру вакуумных печей.
Далее